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干式真空泵的设计越来越重视其稳定性

2019-11-14 16:13
        对于不同类型的干式真空泵,我们都渴望能够将其物理尺寸减小。但这与真空泵的抽气速率相矛盾,因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比,物理尺寸小意味着容积也小。当然,还有一个影响真空泵的抽气速率的重要因素,那就是转速。为了让小尺寸的真空泵的抽气速率与大尺寸真空泵的抽气速率相匹配,就需要提高它的转速。而想要改变真空泵的转速有两种方法,一是改变电源的频率,即采用变频器;二是改变齿轮箱的传动比。其中,采用变频器的好处是可以提供一个闭环控制,但在大负载下容易引起扭距的损失。而改变齿轮箱的传动比是一种非常经济的方法,当然,它只能提供不可控的单一转速。
      现在,可以看到干式真空泵有着如此多的不同设计,它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来,使用成本是一个影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运行的稳定性考虑进去。因为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低,影响到晶圆的生产和交货期,甚至造成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。由于螺杆式设计为单级设计,同多级泵如圆裂片式,爪式以及组合式相比,其在零件的使用数量上减少了60%。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。
       干式真空泵如果是在第一次试泵时卡住不能启动和运转,一般要考虑是不是在管路连接和安装时有金属异物(如螺丝、焊渣等)掉入泵内卡住转子导致泵不能启动和运转。
       在正常使用期间,停泵以后无法再次启动,一般是因为所抽气体中的冷凝物料滞留在泵体内在常温下凝固致使2个转子之间以及转子与泵体之间发生粘结而无法启动,或者是因为所抽气体中粉尘太多滞留泵体内挤住转子不能转动。
       如果发生真空泵不能启动和运转的现象,一般情况下先不要拆解泵体,有异物的可以试试人工反转取出异物,使用后的泵可以试试用溶剂溶解处理,确实无法解决的再考虑拆解泵体进行清理。
       目前市面上的干式真空泵多用夹套冷却水对转子进行冷却。而有的立式螺杆干式真空泵的冷却系统更独特,比如在泵内增加了螺杆内部冷却剂冷却及直接气体冷却,很好的维持内表面的温度,不至于温度过高或过低,始终维持在一个合适的温度,以防被抽的热敏性物质分解,及高温易聚合的物质,比如宇宙星真空机电设备的干式真空泵就比较适合。
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