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干式真空泵的具体应用

2019-12-22 14:22
     干式真空泵的具体应用有哪些呢?这就是本期我们要为大家讲的相关问题了,请看下面的具体讲述吧:
      干式真空泵
 
 
     1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
     2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
     3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
     4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵
     5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
     本期的主要内容是这些了,希望大家对于干式真空泵的认识更为的彻底吧。

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