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浅谈干式真空泵的具体应用

2020-01-19 13:20
      又到了讲述干式真空泵相关知识的时间了,那么接下来我们再为大家讲述下干式真空泵的具体应用这个问题吧,请看下面的具体总结吧:
       
干式真空泵
 
    1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
    2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
    3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
    4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
    5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
     本期的主要内容就是这些了,大家对于干式真空泵是不是更加的熟悉了呢?

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