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干式真空泵的应用范围是什么呢?

2020-10-09 14:41
    干式真空泵的应用范围是什么呢?这就是本期我么要为大家讲的相关问题了,关于这个问题的答案就在下面的阐述中:
      干式真空泵
 
 
 
(1)干式真空泵适合用于化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,防止有机溶剂造成污染;
 
(2)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺;
 
(3)半导体的刻蚀工艺,这些生产工艺往往用到腐蚀性气体和研磨微粒;
 
(4)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,在这些工艺中,不希望微粒混入油泵中,而是排出泵外,用干式真空泵可以解决;
 
(5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
   
 关于本期的主要内容就是这些了,希望大家对于干式真空泵的相关问题更为的熟悉吧。

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