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干式真空泵的特点与应用有哪些?

2021-01-19 13:30
        又到了讲述干式真空泵相关知识的时间了,为了加深大家对于干式真空泵的认识和了解,那么接下来我们就为大家讲述一下 干式真空泵的特点与应用有哪些吧,对此请看下面的阐述吧:干式真空泵
    
 
      目前,真空行业运用的大多数干式真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充任泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、光滑等多种作用。随着科学技术的开展以及真空应用范畴的扩展,原有的干式真空泵及其组成的抽气系统呈现了两个急需处理问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多状况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护本钱。其次,由于某些工艺过程中的反响物质使真空泵内的介质严重蜕变,使泵不能正常工作。
  关于普通的无油真空系统来说,固然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来避免返流,但不能彻底处理问题,而且使系统显得复杂。而运用恰当型式的干式真空泵,则能够到达理想的运用效果。
  干式真空泵的应用是普遍的,主要有以下几个方面:
  1)低压化学气相堆积中的多晶硅制备工艺中;
  2)半导体刻蚀工艺。在这些消费工艺中常常用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
  3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵能够满足请求;
  4)用做普通无油清洁真空系统的前级泵,以避免油污染;
  5)在化学工业、医药工业、食 品工业中的蒸馏、枯燥、脱泡、包装等,要避免有机溶剂形成污染,合适用干式真空泵。
       以上就是本期的主要内容就是这些了,如果大家在使用干式真空泵的过程中还有其他的疑问,都请及时的与我们取得联系哦。

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