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干式真空泵的五种形式

2021-03-05 05:31:57
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      干式真空泵的五种形式究竟有哪些呢?这就是本期我们要为大家讲的相关问题了,关于这个问题的答案就在下面的阐述中,对此请看如下总结吧:
    
干式真空泵
 
 
       一、双圆裂片式干式真空泵
  双圆裂片式的多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一及都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
  二、三叶圆裂片式
  三叶圆裂片式设计和上述形式设计的原理相同,只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的能力—下降。
  三、组合式(罗茨+爪)
  组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率,用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计相同。也有些厂家将其一及改为星型设计,这样可以在旋转一圈中将气体分为五份,就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。
  四、外部压缩型螺杆式
  在外部压缩型螺杆式设计中,使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减小,同时使得气体通路简单。这样,气体在泵体内停留的时间也短。这种设计但在复杂的半导体工艺中表现出的稳定性非常强。
  五、内部压缩型螺杆式
  螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。在很多工艺中,这种内部压缩同多级泵一样,容易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。
        本期的主要内容是这些了,希望大家对于干式真空泵的认识更为的彻底和充分吧。

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