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机械干式真空泵的应用范围

2021-05-15 05:50:06
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  机械干式真空泵的应用范围是什么呢?这就是本期我们要为大家讲的相关问题了,关于这个问题的答案就在下面的阐述中,对此请看如下总结吧:
   干式真空泵
 
 
 1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
 
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
 
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
 
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵
 
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

  以上就是本期的主要内容了,如果大家想要更多了解关于干式真空泵方面的知识,请记得随时关注我们网站的信息更新哦。

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