浅析干式真空泵的具体应用

2021-12-25 13:20:17

792次

1.采用低压化学气相沉积的方法制备多晶硅；

2)半导体腐蚀工艺。在这类生产过程中，经常使用有腐蚀性气体和磨粒；

src=http___img003.hc360.cn_m7_M0D_B8_CB_wKhQo1XeqWeED4vAAAAAAKKX-6I761.png&refer=http___img003.hc360.jpg

3)除半导体工艺之外，某些产生微粒的方法是不希望微粒与泵油混在泵油中，而想要把它排出干式真空泵外，用一次定型的干式真空泵可以满足要求；

4)蒸馏、干燥、脱泡、包装蒸馏、干燥、脱泡、包装，应防止有机溶剂的污染，适用于干真空泵；

5)采用前级泵，使普通无油清洗真空系统，防止油污染。