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浅谈干式真空泵的分类

2022-01-24 13:48:37
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      1 .双圆裂片式干式真空泵

  双圆型裂片式干式真空泵设计与当今最流行、应用最广的罗茨泵很相似。实际上,干式泵的某些早期设计思想是用罗茨泵叠加在一起。多段设计使气路变得非常复杂,而且每一阶段都需要氮大量的流速作为稀释与隔离。与此同时,要想获得好的真空度,必须对各个层次的间隙进行严格的要求。自然,由于提高了内部压缩率,这种设计使能耗相对较低。

  2.三叶圆裂片式

  三叶圆形裂纹设计与双圆形裂纹设计的原理完全相同。它只将气体分为三部分,而不是像双圆形裂纹设计那样分为两部分。三叶圆裂片式设计与双圆片裂片设计具有同样的优点和不足。为了进一步降低功耗,一些制造商在传动部分选择了两台直流电机,但这也会降低扭矩和重启能力。与双圆型裂片设计相同,每一层三片圆形裂片都需要较大流速的氮作为稀释隔离。

  3.组合(罗茨+爪子)

  组合式(罗茨+爪)设计是利用罗茨来提高低压抽气效率,利用爪爪提高高压下抽气效率。其基本原理和气体通道与上述圆裂片设计完全相同。还有一些厂家把它的最后一级换成星形设计,这样在旋转一周中可把气体分成五份,正如三圆裂片的设计可以把它分成三份。与此类似,在许多工艺中,组合设计的每一阶段都要求氮气对其进行稀释与隔离。

  4.外压螺杆式。

  外置压缩螺杆设计时,采用一对等距螺杆,这样就可以将内压减至最小,同时使气道的气道最短和简单。这种方法还使气体在泵内停留的时间最短。虽然这种设计的功耗相对较高,因为它降低了内部压缩比,但在许多复杂的半导体工艺中具有很高的稳定性。这种单级设计使其对氮气消耗的要求非常小和简单,使其在不同的过程中具有良好的互换性,甚至在许多清洁过程中不使用氮气。

  5.内部压缩型螺杆式

  除了使用一对非等距螺杆以外,内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非常相似。螺杆间容积的不断减小,使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。但在很多工艺中,这种内部压缩同多级泵一样,极易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。

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