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干式真空泵是油封式真空泵的更新产品，可以去除含有大量水蒸气和少量灰尘的气体。干式真空泵的运行以高速旋转进行，因此设备必须停机，否则会损坏设备本身。关闭工艺入口阀，切断系统，打开吹扫阀，吹扫20-40分钟后关闭吹扫阀。停止按钮通过现场操作柱停止，关闭氮气阀和冷却水阀。如果冬天长时间不使用，需要清洗机体和管道中的冷却水，防止结冰。当出口管道排污阀和入口过滤器排污阀打开时，检查是否有冷凝液，防止设备结冰，影响使用。
