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干式真空泵怎么进行优化选择?

2022-04-01 13:02:00
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    干式真空泵是未来行业发展的趋势。虽然目前使用不多,但除了价格高之外,用户对干式真空泵了解不够,看不到未来给企业带来的经济效益。小编在这里强调如何优化干式真空泵的选择:

  我们都渴望减少这些不同类型的干式真空泵的物理尺寸。但这与真空泵的泵送速率相矛盾,因为真空泵的泵送速率与真空泵的体积成正比,物理尺寸意味着小体积。当然,影响真空泵泵送速率的另一个重要因素是转速。为了匹配小型真空泵的泵送速率,需要提高其转速。有两种方法可以改变真空泵的转速,一种是改变电源的频率,即使用变频器;另一种是改变齿轮箱的传动比。其中,变频器的优点是可以提供闭环控制,但在大负载下容易造成扭矩损失。改变齿轮箱的传动比是一种非常经济的方法,当然,它只能提供不可控的单个转速。

  现在,我们可以看到干式真空泵有许多不同的设计,各有特点和优缺点。长期以来,使用成本一直是影响人们选择真空泵的一个重要因素。越来越多的真空泵用户意识到,真空泵运行的稳定性也应考虑在内。由于真空泵的意外错误会降低机器的使用效率,影响晶圆的生产和交付期,甚至导致加工晶圆的报废和机器其他部件的损坏。由于螺杆设计为单级设计,与圆裂片、爪形、组合式等多级泵相比,零件的使用量减少了60%。这使得它在稳定性和未来的维护成本方面具有很大的优势。

  综合考虑,如果用户认为功耗对他来说是最重要的,而氮气量对他来说是最不重要的,那么选择内部压缩螺钉类型可以是一个很好的选择。但一般来说,对废气处理的要求越来越严格,这使得在未来减少氮气量更加重要。如果您想使用单一类型的泵来处理不同的半导体过程,并简化库存控制,那么外部压缩螺钉是您的最佳选择。

  根据具体情况,结合上述所有设计类型的优势必须是最理想的选择,但目前不太可能。因此,这要求用户首先知道干泵的设计有很多不同的设计类型,然后根据自己的工艺特点了解不同类型泵的设计对其的影响。这样的选择可以尽可能降低其使用成本,并获得一个长寿命的稳定真空系统。

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