1.检查干式真空泵的安全接地情况,并安装电机保护开关。
2.在干式真空泵进气口安装截止阀。真空泵停止后,进气口的真空度降低,因为排气口的大气返回进气口,而不是干式真空泵。为保证真空室的真空度,在真空室和泵之间安装截止阀。
3.进气温度必须低于50℃,否则在真空室与泵进气口之间必须加入冷陷阱,冷却至50℃以下。
4.不要划伤进气口和排气口的法兰,以免损坏法兰口,导致真空无法上升。排气口应连接排气管,防止灰尘进入泵。
5.泵送含水蒸气的气体时,应打开气镇阀进行泵送,泵送气体的水蒸气含量应小于23克/天。如果超过此上限,气镇阀的使用寿命将缩短。
6.一两个人不得移动干式真空泵。由专业人员携带、安装、配置、接线、操作、维护和检查,否则有触电、泵甚至真空室损坏的风险。
7.不要继续使用损坏的泵,否则会有损坏、触电甚至泵系统损坏的危险。
8.在干式真空泵工作或刚刚停止时,不要接触泵电机或金属部件(因为它很热,可能达到70℃)。如果确实需要接触,应采取必要的保护措施,以防止损坏。